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所謂SEMI標準,半導體製造裝置以及是半導體業界製造裝置及平面顯示器裝置及材料製造商所組成的業界團體的指南,事實上在半導體業界中也被視為國際標準。 SEMI標準(S2 0706)12.1項中,記載著--『在裝置上應該設定「緊急遮斷回路」(EMO回路:Emergency Off回路)。EMO促動器(按鈕)一旦動作,對於作業員或設備不會產生新的危險、裝置應該移動到安全的狀態。』。這是因為溶劑和藥劑等常被使用、當中也包含了危險或有害的物質,因此一旦中止處理用動力而會產生二次性的危險狀態的問題。為此,SEMI標準中要求:必須要設置能夠讓包含其他的安全相關裝置(煙霧探測機、外洩氣體/水探測機、壓力測定裝置等)的動作維持的緊急遮斷開關。緊急遮斷開關在有誤操作之虞慮的狀況下,被要求要設置開關保護罩,有直接開路動作的開關其按鈕顏色是紅色、背景是黃色,操作部或是背景要標示EMO。